氧化退火炉的结构是怎样的？​

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-03-08

氧化退火炉一般由炉体、加热系统、气体供应系统、温度控制系统和炉内载具等部分组成。炉体起到保温和承载内部部件的作用，其材质通常具备良好的隔热性能，减少热量散失。加热系统常用电阻丝、硅碳棒等作为发热元件，通电后产生热量使炉内升温。气体供应系统至关重要，它负责精确输送氧气、氮气等不同气体，以满足氧化和退火过程对气氛的要求，通过流量控制阀等装置精细控制气体流量和压力。温度控制系统通过高精度温度传感器实时监测炉内温度，根据预设值自动调节加热功率，保证温度精细稳定。炉内载具用于放置待处理材料，如半导体晶圆的石英舟，确保材料在炉内受热均匀。​

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